你了解半導(dǎo)體制造中的超純水設(shè)備性能嗎?
前言:半導(dǎo)體行業(yè)屬于電子信息產(chǎn)業(yè),是當(dāng)今世界經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要引擎之一。自20世紀(jì)50年代晶體管發(fā)明以來,半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)歷了從鍺時(shí)代到硅時(shí)代的演變,現(xiàn)在已進(jìn)入第三代半導(dǎo)體——寬禁帶半導(dǎo)體時(shí)代。在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展歷程中,無數(shù)次的技術(shù)革新和產(chǎn)業(yè)升級,推動著整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈向前發(fā)展。今天我們主要來了解半導(dǎo)體制造中的超純水設(shè)備性能。
我們都知道,從半導(dǎo)體制造的原材料,到器件的制造和封裝,每一個(gè)環(huán)節(jié)都需要精密的技術(shù)和設(shè)備,對于半導(dǎo)體的制造過程中的用水要求也是格外嚴(yán)格。半導(dǎo)體生產(chǎn)中的用水純度對于產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率具有極其重要的影響。超純水設(shè)備作為一種能夠生產(chǎn)超純水的新型設(shè)備,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中。該設(shè)備生產(chǎn)出的超純水電阻率達(dá)到18 MΩ*cm,幾乎不含任何雜質(zhì)、細(xì)菌、病毒等,完全可用作半導(dǎo)體領(lǐng)域。
這樣的超純水設(shè)備具有怎么樣的突出性能呢?
1.產(chǎn)水穩(wěn)定品質(zhì)高。對比傳統(tǒng)超純水生產(chǎn)工藝,該設(shè)備多是采用膜技術(shù),在應(yīng)用反滲透加EDI系統(tǒng)和拋光混床模塊相結(jié)合的工藝來制取超純水,出水水質(zhì)符合國家電子級超純水標(biāo)準(zhǔn)GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標(biāo)準(zhǔn);
2.設(shè)備中應(yīng)用的EDI模塊無需使用化學(xué)品的再生,運(yùn)行成本低,EDI系統(tǒng)的自動化程度很高,連續(xù)工作,出水水質(zhì)好且穩(wěn)定,出水電阻率≥18 MΩ*cm;
3.該超純水設(shè)備采用專用的膜元件,在保證系統(tǒng)高回收率的同時(shí),有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì);
4.該超純水設(shè)備具有自動化程度高的優(yōu)勢,在運(yùn)行中如果遇到故障可以立即自停,具有自動保護(hù)功能,且能耗低、水利用率高。
結(jié)束語:綜上所述,這樣的超純水設(shè)備因其性能優(yōu)勢突出且占地面積小,可以為企業(yè)節(jié)省大量的空間得到了許多半導(dǎo)體行業(yè)的歡迎。該設(shè)備在電子芯片、集成電路及封裝、光伏發(fā)電、航空航天等領(lǐng)域中也是多有應(yīng)用。
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編輯:新奇 技術(shù):加菲
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